服务对象:华强电子半导体(上海)有限公司
项目周期:2023-2025年(三期建设)
核心挑战:
- 维持ISO Class 3级洁净标准(每立方米≥0.1μm粒子≤1,000个)
- 处理特殊污染物(光刻胶残留、硅晶圆碎屑)
- 满足24/7不间断生产需求
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二、关键技术应用
- 智能清洁矩阵
- 洁净室高标准保洁技术
- 采用激光粒子计数器联动消杀系统
- 开发晶圆厂专用清洁剂(pH值稳定在6.8±0.2)
- 特殊工艺模块
| 区域 | 清洁标准 | 技术创新点 |
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| 光刻区 | 每小时静电除尘1次 | 自平衡离子风刀装置 |
| 化学机械研磨区| 纳米级表面清洁 | 低温干冰喷射技术 |
| 气体输送系统 | 无油无水痕维护 | 超临界CO₂清洗工艺 | - 管理体系创新
- 建立VOCs排放实时监测平台
- 实施”零接触”清洁工程师认证制度
- 开发设备振动除尘预警算法
三、项目成效
• 形成《半导体工厂清洁服务技术规范》企业标准
一、长秋保洁:您的专业清洁伙伴
长秋保洁专注于为各类场所提供长期保洁服务,无论是住宅小区、写字楼、商场、工厂,还是学校、医院等公共场所,我们都能提供定制化的清洁方案。我们的服务团队经过严格培训,具备丰富的清洁经验和专业的操作技能,能够满足您多样化的需求。
二、长秋保洁:您的专业清洁托管伙伴
长秋保洁专注于为各类场所提供长期保洁托管服务,无论是住宅、写字楼、商场、工厂,还是学校、医院等公共场所,我们都能为您提供量身定制的清洁解决方案。我们的服务团队经过严格培训,具备丰富的清洁经验和专业的操作技能,能够满足您多样化的需求。